반도체·디스플레이 산업은 한국의 주력 산업으로 온실가스 감축을 위한 노력을 지속해왔다. 반도체·디스플레이 산업생산에서 발생하는 온실가스 배출은 공장 가동을 위한 전력 사용과 초미세 공정에서 사용되는 불소 화합물이 공기 중으로 배출되는 공정 배출이 대부분이다. 반도체·디스플레이 산업에서 온실가스 감축은 가스 대체와 저감설비 도입을 통해 공정 배출 감축을 중심으로 높은 성과를 달성하였다. 현 기술력과 산업설비 현황을 고려하면 고효율 저감장치 적용은 막대한 설치 비용이 발생하며, 가동 시 전기사용량 상승 및 NOx를 비롯한 새로운 환경오염물질을 발생시켜 한계를 가진다. 현재의 저감·저해 요소를 극복하고 추가적인 온실가스 감축을 위해서는 지속적인 R&D 투자, 자발적인 감축을 위한 인센티브 제공, 저감장치 확대에 따른 오염 발생을 고려한 통합적인 환경정책 도입이 필요하다.
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